��ʗp��W

2. �p��W
3. ��ʗp��W
4. ��

��ʗp��W

��

�V�[�u�C�f�B�[�yCVD�z

����	�V�[�u�C�f�B�[�yCVD�z
�Ӗ�	�kchemical vapor deposition�l�����́E�≏�́E�����Ȃǂ��K�X�ɂ��ĉ��M�������ʼn��w�����ɂ��͐ς����C�������`������Z�p�B���w�I�C�������@�B���w�����@�B���^�����